Oxidación en semiconductores
- Oxidación en semiconductores
- La oxidación es uno de los procesos básicos en la fabricación de circuitos integrados.
Presenta la desventaja respecto a la deposición de que hay un consumo del sustrato. La ventaja es que el óxido así generado es de más calidad.
La forma más usada es la oxidación térmica. Para el caso del silicio (Si) la oxidación puede ser:
pre
Si + 2H2O ————> SiO2 + 2H2
Si + O2 ————> SiO2
/pre
Enciclopedia Universal.
2012.
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